IEサービス事例一覧
　生産能力向上サービス

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【事例１】
酸化膜成膜設備における実サンプルから
モデル式の管理へ代替により、稼働率5％向上

半導体工程における酸化膜形成工程は品質影響が高く、安易に生産性向上に向けた対応が取るのが困難な工程です。弊社は統計解析手法と原理・原則からキーパラメータ抽出を行い、モデル式による代替管理に置き換え、稼働率向上と併せ、全数測定化による更なる管理強化を実現しました。

【事例２】
設備EOL対応:仕様の異なるドライエッチ設備への加工条件展開

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半導体製造装置メーカーの再編や工場年齢伸長により、製造装置によっては、サポートサービス停止やスペアパーツの供給が困難になってきているケースがあります。特にレガシー工場においては故障発生時における生産性の逸失や復旧不可となるリスクが顕在化している状況にあります。そのリスク回避策として、弊社がお客様に代わり、パーツ供給リスクのある設備から別設備条件を展開し、かつ同様の加工条件及び所望のクライテリアに合わせ込みを行い、ラインの安定生産性を強化いたしました。